基于電化學(xué)放電的微細(xì)鉆孔加工試驗(yàn)研究.pdf

1、玻璃、陶瓷等非導(dǎo)電脆性材料具有良好的脆硬性、耐熱性、耐化學(xué)腐蝕性等，被越來越多的應(yīng)用于微型器械以及MEMS領(lǐng)域，但由于材料的特殊性能，其微細(xì)加工成為一個(gè)難題。電化學(xué)放電加工作為一種非導(dǎo)電脆性材料的加工方法，具有加工成本低、效率高、柔性好等優(yōu)點(diǎn)，但該方法在加工深度和加工精度等方面還未達(dá)到工程應(yīng)用的需求。為此，本文就基于電化學(xué)放電的微細(xì)鉆孔加工方法開展了試驗(yàn)研究。首先從理論上對(duì)電化學(xué)放電加工方法進(jìn)行分析，然后搭建了電化學(xué)放電加工試驗(yàn)裝置，接

2、著對(duì)基本的工藝參數(shù)進(jìn)行試驗(yàn)研究。在此基礎(chǔ)上，本文采用微細(xì)鉆頭作為工具電極，將電化學(xué)放電和微細(xì)鉆削兩種加工方法進(jìn)行復(fù)合，并展開了相關(guān)的加工工藝試驗(yàn)研究。最后在硼硅酸鹽玻璃上加工出深度超過2mm、直徑小于250μm的盲孔及通孔。主要工作如下：
　　1、制作重力進(jìn)給裝置，選擇試驗(yàn)平臺(tái)、試驗(yàn)設(shè)備、試驗(yàn)對(duì)象等以搭建完整的電化學(xué)放電加工試驗(yàn)裝置；
　　2、采用電解方法制備圓柱電極，進(jìn)行電化學(xué)放電加工的基礎(chǔ)試驗(yàn)，研究加工時(shí)間、加工電壓、工