非對稱扭擺式隧道加速度計的研制.pdf

1、東南大學碩士學位論文非對稱扭擺式隧道加速度計的研制姓名：史建偉申請學位級別：碩士專業(yè)：微電子學與固體電子學指導教師：陳德英2000.3.1公式，得出了測量范圍和標度因數(shù)根據(jù)所得的參數(shù)，兼顧到量程、頻率、剛性條件和彈性條件以及工藝條件的綜合要求，利用MATLAB語言輔助設(shè)計，對加速度傳感器的結(jié)構(gòu)參數(shù)進行優(yōu)化設(shè)計，得出較合理的設(shè)計結(jié)果撓性軸是非對稱式扭擺式加速度傳感器中的關(guān)鍵部件，撓性軸的設(shè)計直接關(guān)系到加速度計的許多重要性能，本章重點討論了

2、撓性軸的形狀和尺寸設(shè)計最后討論了傳，感器的頻率特性廠。針對關(guān)鍵5E進行了單項實驗尊口：硅尖高度控制和決定隧道電極間距離的橋墩高度控制等在單項實驗中采取KOH腐蝕系統(tǒng)，總結(jié)了在不同溫度和配比下的腐蝕性能，以及加入異丙醇(刪)后腐蝕性能的改變在硅尖制備好之后，硅尖的保護也很關(guān)鍵，總共考慮了四種方式來保護硅尖，通過單項實驗。首次采用二氧化硅氮化硅二氧化硅三層結(jié)構(gòu)來保護硅尖結(jié)合結(jié)構(gòu)設(shè)計的結(jié)、果及本校工藝條件，設(shè)計了版圖‘。i，論文設(shè)計了加速度傳