基于線陣CCD的非接觸微位移測量系統(tǒng)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著半導(dǎo)體光電器件CCD的快速發(fā)展，CCD技術(shù)被廣泛地應(yīng)用在測量領(lǐng)域，尤其是在微小位移方面的測量。微位移測量已經(jīng)廣泛地應(yīng)用在工業(yè)領(lǐng)域，提高此類測量的精度可以提高生產(chǎn)效率、減少生產(chǎn)的次品率、降低生產(chǎn)成本。因此，微位移的研究具有重要意義。
　　本文研究了基于線陣CCD和激光三角法的微小位移測量系統(tǒng)。首先，介紹了光三角測量法和激光成像的相關(guān)原理，在此基礎(chǔ)上，設(shè)計了激光光束準直擴束系統(tǒng)和成像系統(tǒng)，為了提高測量精度，采用雙遠心光路系統(tǒng)作為光

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