多相介質(zhì)對(duì)液浮微陀螺電容檢測(cè)的影響研究.pdf

1、隨著微電子技術(shù)的日趨成熟,微機(jī)械加工、封裝技術(shù)的不斷發(fā)展,MEMS傳感器在體積、質(zhì)量、功耗、精度等各方面的性能都有了質(zhì)的改善,集成度的提高使得各種微型慣性表頭在軍用及民用方面應(yīng)用十分廣泛,尤其是硅加速度計(jì)及硅微陀螺是國(guó)內(nèi)外研究的熱點(diǎn)。
　　本文針對(duì)液浮轉(zhuǎn)子式微陀螺提出了合適的差分結(jié)構(gòu)微弱電容信號(hào)檢測(cè)方案,并對(duì)此種結(jié)構(gòu)中存在的兩相流或多相流系統(tǒng)進(jìn)行研究,分析兩相流系統(tǒng)對(duì)電容檢測(cè)的影響。論文主要包括兩大方面,一是差分結(jié)構(gòu)微弱電容信號(hào)的

2、檢測(cè)電路設(shè)計(jì),二是對(duì)液浮轉(zhuǎn)子式微陀螺中的兩相流系統(tǒng)問(wèn)題進(jìn)行分析。
　　對(duì)于微弱電容檢測(cè)電路部分,本文首先對(duì)微弱信號(hào)檢測(cè)的幾種原理進(jìn)行分析,基于相敏解調(diào)的原理提出了合適的差分結(jié)構(gòu)電容檢測(cè)方案,完成對(duì)檢測(cè)電路中電荷放大器、交流鎖定放大、相敏解調(diào)電路及濾波電路的Hsipce仿真,驗(yàn)證了方案的可行性,仿真可知電路在100kHz處的等效輸入噪聲為9.8641nV/Hz1/2;然后完成檢測(cè)電路的PCB板設(shè)計(jì),通過(guò)測(cè)試驗(yàn)證了功能的正確性,且等效