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1、激光干涉測(cè)量法具有很高的靈敏度和準(zhǔn)確度,在生產(chǎn)和科研中有著重要作用。隨著各種激光器性能的逐漸提高,各種高性能光電轉(zhuǎn)換器件的不斷出現(xiàn),各種新型信號(hào)處理電路的廣泛應(yīng)用以及計(jì)算機(jī)技術(shù)的日益普及,激光干涉儀的性能也正在顯著提高,已經(jīng)在很多不同領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。但由于光學(xué)測(cè)量法容易受到周圍環(huán)境的影響,故研制可抗周圍環(huán)境干擾的高分辨率、高精度的激光干涉儀具有深遠(yuǎn)的意義。近年來隨著非線性光學(xué)的發(fā)展,利用非線性光學(xué)效應(yīng)制成的非線性干涉儀獲得了較大的
2、發(fā)展,利用它來測(cè)量微小振動(dòng)具有非接觸、無損傷、時(shí)空分辨率高等特點(diǎn),并且具有較高的抗環(huán)境干擾能力,具有較大的發(fā)展前景。
本文以壓電陶瓷為振源,搭建起了基于GaAs晶體的光感生電動(dòng)勢(shì)干涉儀的光學(xué)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng),并在實(shí)驗(yàn)中對(duì)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)進(jìn)行了改進(jìn)和優(yōu)化。在壓電陶瓷的驅(qū)動(dòng)頻率為0.2KHz-90KHz的范圍內(nèi)測(cè)量到了振幅小于1μm振動(dòng)信號(hào),并且研究分析了光感生電流的大小與信號(hào)光和參考光的光強(qiáng)、兩束光的光強(qiáng)比和夾角、壓電陶瓷的驅(qū)動(dòng)電壓和驅(qū)動(dòng)頻
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