計(jì)量用高精度全息柱面位相光柵制作技術(shù)研究.pdf

1、柱面光柵作為一種計(jì)量光柵廣泛應(yīng)用于接觸式表面輪廓測(cè)量?jī)x中。隨著超精密機(jī)械加工向亞微米、納米級(jí)精度發(fā)展，對(duì)接觸式表面輪廓測(cè)量?jī)x提出了大量程和高分辨率要求。而全息柱面位相光柵作為該測(cè)量?jī)x的標(biāo)準(zhǔn)器，決定著儀器的分辨率，柱面光柵的質(zhì)量技術(shù)參數(shù)及其精度對(duì)接觸式表面輪廓測(cè)量?jī)x的測(cè)量準(zhǔn)確性及測(cè)量精度有著直接影響。
　　本文結(jié)合柱面光柵的應(yīng)用及光柵的相關(guān)衍射理論對(duì)柱面光柵全息制作過(guò)程中產(chǎn)生的誤差及柱面光柵參數(shù)誤差對(duì)測(cè)量精度的影響展開(kāi)了研究和分析。

2、其主要研究?jī)?nèi)容和取得的研究成果如下：
　　(1)分析了柱面光柵在表面形貌測(cè)量過(guò)程中的工作原理，建立了測(cè)量系統(tǒng)輸出信號(hào)與表征光柵質(zhì)量的技術(shù)參數(shù)之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。
　　(2)根據(jù)光柵的標(biāo)量衍射理論和嚴(yán)格耦合波理論分別對(duì)光柵的主要參數(shù)誤差如周期誤差、占空比誤差、槽深誤差、面型誤差進(jìn)行了分析，明確了柱面光柵的主要誤差源（周期誤差、占空比誤差）及相應(yīng)的工藝容差范圍，為高精度柱面光柵的工藝制作提供了依據(jù)。
　　(3)建立了柱面光柵的