大功率高速光波導探測器的制作.pdf

1、大功率高速光波導探測器在光控相控陣雷達、超高速測試系統(tǒng)和光纖局域網通信系統(tǒng)中，是一個關鍵器件，其性能對整個系統(tǒng)起著決定性作用。本論文研制基于單載流子垂直方向耦合光波導探測器(Uni-Traveling-Carrier Vertical Directional Coupling Waveguide Photodetector，UTC-VDCPD)。論文采用垂直方向耦合器解決表面垂直入射型探測器響應速率和響應度相互制約的矛盾，從而有望實現了

2、大功率高速的性能。
　　本論文從光波導探測器的基礎理論、測試平臺、制備工藝和制備過程中所遇到的難題等方面展開了研究工作。具體的主要工作如下：
　　1、大功率高速光探測器的設計
　　設計完成了光波導探測器各層的結構參數、材料以及對應厚度，論文詳細介紹了基片生長完成后，基片表面的各種缺陷以及這些缺陷給稍后的制備帶來的不良影響。
　　2、InP基光波導探測器制作工藝
　　論文分析了InP基光波導工藝步驟，結合器件

3、結構，設計和優(yōu)化光刻版版圖，再根據加工工藝精度和材料的限制，考慮了前端輸入波導、上端耦合層、左右電極的各種參數，以及光刻版對準標記，器件型號等完成光刻版版圖的設計。
　　3、探測器的制備
　　論文分解了探測器制備工藝。在普通Si基片上完成光刻工藝調試和工藝流程的驗證；在InP基片上完成刻蝕工藝調試（寬度、角度和刻蝕速率等），光刻對準工藝的驗證，完成實驗結果分析總結；用正式基片完成加工（包括光刻、顯影、ICP刻蝕和電極制作）。