抽放射性氣體渦旋真空泵主要零件的有限元分析.pdf

1、隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展，對(duì)于全密封式無油渦旋真空泵的需求顯得日趨迫切。特別是在高純氣體、核工業(yè)氣體的傳輸和儲(chǔ)存以及半導(dǎo)體電子器件生產(chǎn)中稀有氣體的回收和電子工業(yè)中無油清潔系統(tǒng)中全密封式無油渦旋真空泵有著廣泛的應(yīng)用。在全密封式無油真空泵中，起密封作用的波紋管至關(guān)重要。如果波紋管密封性不好，出現(xiàn)泄漏，則全密封式無油真空泵無法達(dá)到較高的真空度，不能滿足工程實(shí)際需要。一旦泵中這些放射性氣體出現(xiàn)泄漏，不僅帶來生產(chǎn)安全隱患，而且會(huì)污染環(huán)境，嚴(yán)重的還將

2、引起重大事故。
　　全密封式無油渦旋真空泵在工作時(shí)，泵中的波紋管在偏心結(jié)構(gòu)的作用下，產(chǎn)生振動(dòng);而波紋管振動(dòng)時(shí)長(zhǎng)期承受交變載荷，于是包括疲勞失效在內(nèi)的各種類型的損傷和破壞就成為影響波紋管使用性能和使用壽命的主要因素。
　　本文結(jié)合實(shí)際需要，對(duì)抽放射性氣體的渦旋真空泵中機(jī)械密封的波紋管進(jìn)行了研究;首先對(duì)波紋管進(jìn)行模態(tài)分析，得到基本振型，求出其固有頻率，避免實(shí)際應(yīng)用中引起共振，同時(shí)模擬出波紋管在模態(tài)分析中產(chǎn)生的變形和振動(dòng)應(yīng)力，得到