采用氮氫混合氣源的等離子體源滲氮AISI304奧氏體不銹鋼工藝研究.pdf

1、采用氮氫混合氣作為滲氮氣源，在低電壓下對AISI304奧氏體不銹鋼進行等離子體源滲氮處理，獲得良好的滲氮效果。利用光學(xué)顯微鏡、電子探針顯微分析儀、X射線衍射儀、表面輪廓儀、顯微維氏硬度計、電化學(xué)工作站等設(shè)備，系統(tǒng)分析等離子體源滲氮AISI304奧氏體不銹鋼的成分、結(jié)構(gòu)及組織性能，研究了滲氮氣體氮氫比、滲氮氣壓以及試樣偏壓和距屏高度對滲氮層金相組織、氮濃度-深度分布、相結(jié)構(gòu)、表面粗糙度、顯微硬度-深度分布、抗孔蝕行為的影響，定性總結(jié)出上述

2、工藝條件對滲氮層組織性能影響的一般規(guī)律。
　　氣壓300 Pa，懸浮電位，距屏100mm，滲氮6h，氮氫比3∶1-1∶5條件下，所得滲氮層均由γN相組成，氮氫比1∶3條件下滲氮效果最好，滲氮層厚度9.8μm，氮峰值濃度16.5 wt.％，表面粗糙度0.124μm，表面顯微硬度10.4 GPa。氮氫比大于1∶3時，滲氮效果會隨氮氣分壓的增加而變差;氮氫比小于1∶3時，滲氮效果隨氫氣分壓的增加而變差。
　　氮氫比1∶3，懸浮電位

3、，距屏100mm，滲氮6h，氣壓220-500 Pa條件下，所得滲氮層均由γN相組成，氣壓300 Pa時滲氮效果最好。
　　氣壓300 Pa，氮氫比1∶3，距屏100mm，滲氮6h條件下，試樣上施加0～-400 V負偏壓，所得滲氮層均由γN相組成，負偏壓-200 V時滲氮效果最好，滲氮層厚度10.9μm，表面顯微硬度11.3 GPa。試樣施加負偏壓后，試樣表面得到了清洗和活化，所得滲氮層厚度增加，硬度提高，抗蝕性能改善。