多孔硅相對濕度傳感器的研究.pdf

1、濕度傳感器作為一種重要的傳感器，在人類生產生活中也發(fā)揮著舉足輕重的作用。濕度傳感器自問世以來，已經有約兩百年的歷史，在這兩百年中濕度傳感器的發(fā)展速度驚人，現在已經朝著微型化、智能化、集成化等方向發(fā)展。
　　本文從濕度傳感器的感濕材料氧化多孔硅(OPS)出發(fā)，著眼于相對濕度傳感器的結構，比較了幾種傳統(tǒng)多孔硅相對濕度傳感器的結構，并在此基礎上設計出了新的結構，最后給出了制作該傳感器的工藝方法。本文的主要工作成果有:
　　1、探索

2、了制備多孔硅材料的新方法，新裝置，在現有雙槽的基礎上設計出了一套新的制備多孔硅材料的新裝置，該裝置可以適應大面積以及特定位置的多孔硅的制備。
　　2、比較了傳統(tǒng)電容式濕度傳感器兩種結構的優(yōu)劣，并在此基礎上設計出了本文新的結構，并且從理論和實驗上論證了該結構的優(yōu)點。該結構使用了多晶硅作為加熱電路為傳感器除濕，保證傳感器的自解吸附。電極上面淀積一層鈍化層Si3N4，可以有效的防止電性能的退化，并防止潮濕、離子或其他外部沾染物等原因引起