基于LCoS相位調(diào)制器件的制備與測試.pdf

1、空間光調(diào)制器件是近代光信息處理系統(tǒng)中的關(guān)鍵型器件，在光學(xué)圖像處理，數(shù)據(jù)編譯碼，激光整形，光學(xué)鑷子等諸多領(lǐng)域內(nèi)得到了廣泛的應(yīng)用。特別是相位型的空間光調(diào)制器件，它通過改變?nèi)肷涔庀辔坏姆绞絹碚{(diào)制成像平面的振幅，與傳統(tǒng)液晶顯示器的光強調(diào)制方式相比，具備更高的光能利用率和更高的衍射效率，從而被廣泛的用在光電混合信息處理系統(tǒng)中。
　　LCoS器件則是一種新型的液晶器件，具備光能利用率高，集成度高及分辨率高等優(yōu)勢，基于LCoS的相位調(diào)制器件具有

2、更為廣泛的應(yīng)用前景。本文以硅基液晶相位調(diào)制器件為研究對象，研究其工作原理及影響相位調(diào)制特性的因素。并利用TechWiz軟件進行模擬仿真，對比了不同的LCoS相位調(diào)制器件的工作模式，并對其優(yōu)化和選擇。采用反平行取向的工作模式，優(yōu)化了影響其相位調(diào)制特性的關(guān)鍵工藝參數(shù)，并以理論計算及仿真模擬為指導(dǎo)，設(shè)計了LCoS相位調(diào)制器的結(jié)構(gòu)材料參數(shù)。工藝中確定了各環(huán)節(jié)的工藝參數(shù)，流通了整個工藝流程，制備了LCoS相位調(diào)制器的樣品。根據(jù)相位調(diào)制特性的測試方