基于AlGaN和石墨烯的紫外-紅外雙色探測(cè)器的制備研究.pdf

1、隨著社會(huì)科技的進(jìn)步，軍事和民用的探測(cè)器也逐漸發(fā)展起來(lái)，紫外探測(cè)器和紅外探測(cè)器是兩種較為常見(jiàn)的光電探測(cè)器。目前，研制出的紫外-紅外雙色探測(cè)器所需材料生長(zhǎng)困難，制備工藝復(fù)雜，制作成本高，集成后的器件響應(yīng)度比較低。本設(shè)計(jì)研發(fā)出的雙色探測(cè)器不但降低了制備器件的難度，在器件性能上也有所提高。
　　本設(shè)計(jì)從理論分析設(shè)計(jì)入手，通過(guò)模擬器件來(lái)設(shè)計(jì)器件制備的工藝過(guò)程，并搭建測(cè)試系統(tǒng)對(duì)器件的探測(cè)性能進(jìn)行了測(cè)試。得出了探測(cè)器的量子效率對(duì)偏壓和頻率的依賴(lài)

2、關(guān)系，發(fā)現(xiàn)隨著兩者的增大，探測(cè)器的量子效率分別隨之增大和減小；實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)了在低溫環(huán)境下紫外探測(cè)器的響應(yīng)特性，通過(guò)降低溫度可以提高紫外探測(cè)器的光-暗電流之比并且減小下降時(shí)間。本文利用前期已經(jīng)制備的高Al組分的AlGaN制備性能更加完善的MSM結(jié)構(gòu)紫外探測(cè)器。同時(shí)采用化學(xué)氣相沉積法生長(zhǎng)石墨烯，并對(duì)其進(jìn)行表征。使用高質(zhì)量石墨烯制備出性能更加完善的紅外探測(cè)器。
　　本文設(shè)計(jì)出的基于AlGaN和石墨烯的紫外-紅外雙色探測(cè)器不但減弱了集成難度，