圖形化藍寶石襯底LED制備研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、　　本論文研究了圖形化藍寶石襯底GaN基藍光發(fā)光二極管的制備,重點研究了高密度圖形化藍寶石襯底的制備過程中所遇到的問題及其解決辦法。通過對電感耦合等離子體(ICP)刻蝕機理的分析,研究ICP刻蝕設(shè)備的各個參數(shù)如壓強、刻蝕功率、偏壓功率、氣體流量對藍寶石刻蝕過程中產(chǎn)生的影響。通過調(diào)節(jié) ICP 刻蝕參數(shù)得到不同的藍寶石與光刻膠的刻蝕選擇比,靈活修飾藍寶石的刻蝕圖形。
　　本論文通過分析幾種藍寶石襯底圖形形貌的制備方法,分別制作了圓

2、錐形貌、盾牌形貌、三棱錐形貌的圖形襯底,進行了 GaN 外延生長后應(yīng)用于藍光發(fā)光二極管制作。通過XRD、PL、EL 等測試分析,發(fā)現(xiàn)在所用的圖形化藍寶石襯底中,圓錐形貌圖形襯底上所制備的發(fā)光二極管光電性能最好。
　　本文通過對圓錐形貌的圖形襯底進行優(yōu)化,分析了藍寶石襯底上不同圖形間距對外延生長的影響,并應(yīng)用于254×584μm2的GaN基藍光發(fā)光二極管,分析其在20mA工作電流條件下正向電壓和光輸出功率的變化,在優(yōu)化參數(shù)下制得

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