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文檔簡介
1、可見光波段垂直腔面發(fā)射激光器具有易于集成、能實現(xiàn)高速調(diào)制和功耗小等優(yōu)點，在激光打印、光顯示等眾多領(lǐng)域應(yīng)用廣闊。
傳統(tǒng)的VCSEL具有散熱性能差、電流注入不均勻等缺點，本文制備的新型VCSEL提升了傳統(tǒng)環(huán)形電極VCSEL的散熱性能，也改善了傳統(tǒng)環(huán)形電極VCSEL電流注入不均勻的問題。首先，我們將傳統(tǒng)的圓環(huán)電極結(jié)構(gòu)VCSEL改良雙圓環(huán)十字型電極結(jié)構(gòu)，使電極接入到出光孔內(nèi)部，從而使得VCSEL的電流注入均勻。然后再改進了腐蝕槽結(jié)構(gòu)。
2、這種結(jié)構(gòu)VCSEL經(jīng)過模擬和測試證實了散熱性較好，光束質(zhì)量較好。
我們設(shè)計并制作了具有新型雙圓環(huán)十字型的電極結(jié)構(gòu)和新型腐蝕槽結(jié)構(gòu)的光刻版，并通過一系列包括光刻、腐蝕、氧化等實驗工藝。我們成功制備出了光功率為18.12mW、激射波長中心為670nm可見光垂直腔面發(fā)射激光器4×4陣列，此陣列的閾值電流為380mA。我們運用ANSYS模擬了單元間距為500μm和400μm的VCSEL的穩(wěn)態(tài)和瞬態(tài)情況的散熱性能，并確定間距為500μm
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