2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁(yè)
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1、隨著物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的蓬勃發(fā)展，傳感器技術(shù)得到了長(zhǎng)足的進(jìn)步。在傳感器技術(shù)中，傳感器的供電問(wèn)題是其關(guān)鍵技術(shù)之一，本設(shè)計(jì)意圖開(kāi)發(fā)一種微電池器件，可以在譬如惡劣環(huán)境、無(wú)法更換電池或者是一次性傳感器中工作，解決傳感器的供電問(wèn)題。
　　本設(shè)計(jì)論述并采用了一種方法簡(jiǎn)便，工藝可靠的CMOS/MEMS工藝混合微加工工藝制作壓電式振動(dòng)能量收集器。器件采用諧振式d31能量收集方式，使用(100)硅片作為器件基底，使用PZT（鋯鈦酸鉛）作為器件壓電敏感層，使

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