CIS失效分析方法及良率的提升.pdf

1、隨著集成電路制造業(yè)工藝技術(shù)的成熟發(fā)展和集成電路設(shè)計水準(zhǔn)的不斷提升,CMOS圖像傳感器憑借其成本低、功耗低、集成度高、體積小、工藝不復(fù)雜且開發(fā)周期短等等優(yōu)勢,在諸多領(lǐng)域中得到了及其廣泛的應(yīng)用,特別是數(shù)碼產(chǎn)品類市場如數(shù)碼手機(jī)、數(shù)碼照相機(jī)、數(shù)碼攝像機(jī)等圖像傳感器應(yīng)用方面,當(dāng)前市場前景廣泛,因此對CMOS圖像傳感器的研發(fā)有著非常高的市場價值。
　　本文首先介紹了CMOS圖像傳感器的發(fā)展歷程和研究現(xiàn)狀。隨后敘述了CMOS圖像傳感器的分類、結(jié)

2、構(gòu)及工作原理,為了更好的剖析CMOS圖像傳感器,著重說明了成像原理和圖像信號的讀取和處理過程,以及CMOS圖像傳感器的重要性能參數(shù),以及在芯片測試(CP:ChipProbe)、終端測試(FT:FinalTest,)、應(yīng)用測試(AE:ApplicationEngineeringTest)中的重要測試項加以剖析和分析。然后把實(shí)際的CMOS圖像傳感器的集成電路的制造中,利用代工廠的三大主要分析手段和結(jié)合相關(guān)CIS相關(guān)的問題去剖析和改善,最后把