基于光學(xué)掃描法的長(zhǎng)導(dǎo)軌直線(xiàn)度測(cè)量方法研究.pdf

1、直線(xiàn)度誤差是導(dǎo)軌加工件的主要形位誤差。對(duì)于運(yùn)動(dòng)平臺(tái)導(dǎo)軌，直線(xiàn)度誤差直接影響著機(jī)床、測(cè)量機(jī)的精度。隨著超精密加工技術(shù)的不斷進(jìn)步，對(duì)導(dǎo)軌直線(xiàn)度測(cè)量的要求也越來(lái)越高。傳統(tǒng)的以直尺，重錘線(xiàn)等簡(jiǎn)易工具為測(cè)量手段的方法，雖然具有檢測(cè)器具簡(jiǎn)單、實(shí)施簡(jiǎn)便的優(yōu)點(diǎn)，但測(cè)量精度不高、性能無(wú)法保證；而以激光準(zhǔn)直技術(shù)作為測(cè)量手段的現(xiàn)代測(cè)量方法，雖然具有測(cè)量精度高、速度快的優(yōu)點(diǎn)，但激光在現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境中的應(yīng)用受到限制，且不便于已安裝到位的導(dǎo)軌的在位測(cè)量。
　　本論

2、文采用基于位移傳感器的多測(cè)頭掃描法對(duì)長(zhǎng)導(dǎo)軌的直線(xiàn)度誤差的在位測(cè)量方法進(jìn)行研究，提出一種采用傾角補(bǔ)償?shù)?測(cè)頭掃描方法，可對(duì)被測(cè)導(dǎo)軌實(shí)施非接觸和連續(xù)快速掃描測(cè)量，重構(gòu)出的形狀可精確反映直線(xiàn)度誤差的高頻成分且對(duì)測(cè)量噪聲有較好抑制能力。本文首先對(duì)現(xiàn)有的導(dǎo)軌直線(xiàn)度掃描測(cè)量方法進(jìn)行介紹，接著詳細(xì)說(shuō)明了傾角補(bǔ)償式3點(diǎn)法的測(cè)量原理和仿真驗(yàn)證結(jié)果，隨后搭建實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)對(duì)提出方法進(jìn)行了驗(yàn)證。針對(duì)開(kāi)發(fā)的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)編寫(xiě)了相應(yīng)的數(shù)據(jù)采集程序和采用最小二乘法的直線(xiàn)度重構(gòu)