半導(dǎo)體制造設(shè)備用超聲波流量計的初步研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、超聲波流量計具有非接觸式測量、測量范圍寬、安裝簡便等優(yōu)點，在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)過程中被廣泛應(yīng)用。本文針對在現(xiàn)在半導(dǎo)體加工工業(yè)過程中的一類特殊超聲流量計要求，對具備典型的低信號情況（原始信號僅有幾mv，與噪聲是同級別的），小管徑，及較復(fù)雜情況（流質(zhì)可能不同，以及可能存在氣泡），提出了完整的解決方案，并介紹了其實現(xiàn)結(jié)果。
　　論文基于時差法的處理方案，主體采用Atmel公司生產(chǎn)的atmega32作為主控制器，通過級聯(lián)濾波放大方式處理弱信號、

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