三軸諧振式加速度計(jì)測(cè)控電路的設(shè)計(jì).pdf

1、諧振式硅微機(jī)械加速度計(jì)是一種利用機(jī)械振動(dòng)原理來(lái)測(cè)量對(duì)象加速度信息的微慣性傳感器。與傳統(tǒng)的加速度傳感器相比，諧振式加速度計(jì)具有抗電磁干擾能力強(qiáng)、輸出信號(hào)穩(wěn)定等突出優(yōu)點(diǎn)。目前，微機(jī)電加速度計(jì)有向多軸化發(fā)展的趨勢(shì)，出現(xiàn)了電容式、壓阻式、隧道電流式三軸加速度計(jì)。本論文探討了一種諧振式三軸加速度計(jì)的測(cè)量控制電路，核心部分包括諧振式三軸加速度計(jì)閉環(huán)控制電路設(shè)計(jì)以及頻率檢測(cè)電路的設(shè)計(jì)。論文的內(nèi)容主要包括以下幾個(gè)部分:
　　(1)闡述了國(guó)內(nèi)外微機(jī)

2、械加速度計(jì)以及相應(yīng)測(cè)控電路的發(fā)展歷史、未來(lái)發(fā)展方向，明確論文的目的和意義。
　　(2)介紹了諧振式加速度計(jì)基本原理，推導(dǎo)了理論公式，建立諧振式加速度計(jì)數(shù)學(xué)模型，明確設(shè)計(jì)的理論依據(jù)。
　　(3)設(shè)計(jì)三軸諧振式加速度計(jì)的閉環(huán)驅(qū)動(dòng)控制電路，分析控制電路中信號(hào)提取、相位控制、幅度控制等關(guān)鍵技術(shù)，優(yōu)化系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)加速度計(jì)穩(wěn)定控制。
　　(4)在分析比較三軸諧振式加速度計(jì)的頻率測(cè)量方法的基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)了基于FPGA的數(shù)字測(cè)頻法并制作