基于激光自混合干涉的微振動測量研究.pdf

1、激光自混合干涉是指激光器出射的激光被外部物體反射或散射后，部分?jǐn)y帶外部物體信息的光返回激光器諧振腔，并與腔內(nèi)的激光相混合，從而調(diào)制激光器輸出激光頻率和功率的現(xiàn)象。作為一種新型的干涉測量技術(shù)，這種僅由光源、探測器、信號處理電路組成的測量系統(tǒng)，不僅具有光學(xué)測量技術(shù)非接觸、高精度、快速響應(yīng)、抗電磁干擾的特點(diǎn)，還兼具簡單緊湊、易準(zhǔn)直的優(yōu)點(diǎn)，受到研究學(xué)者們越來越多的關(guān)注，被廣泛應(yīng)用于絕對距離、速度、位移振動、激光參數(shù)等領(lǐng)域的測量。
　　本文

2、介紹了激光自混合干涉技術(shù)的歷史背景，綜述其理論研究和應(yīng)用進(jìn)展。通過F-P三鏡腔理論推導(dǎo)并建立了激光自混合干涉的數(shù)學(xué)模型，對自混合干涉信號進(jìn)行數(shù)值仿真模擬，并分析研究了系統(tǒng)模型中各參數(shù)對自混合干涉信號的影響。根據(jù)自混合干涉信號的特性規(guī)律，結(jié)合外部物體振動位移特征，設(shè)計了振動參數(shù)解調(diào)算法。同時，研究了基于相位解包裹的信號處理算法，實(shí)現(xiàn)對無規(guī)則運(yùn)動軌跡的位移重構(gòu)。
　　在此基礎(chǔ)上，搭建半導(dǎo)體激光器自混合干涉微振動測量的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)。通過觀察