氣體靜壓止推軸承側(cè)傾特性研究.pdf

1、氣體靜壓軸承因無摩擦、低磨損、低發(fā)熱等優(yōu)點在超精密測量、加工等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，并且已經(jīng)成為超精密運動平臺最重要的基礎(chǔ)元件之一。隨著研究人員對氣體靜壓軸承展開更深入的研究，他們在實驗中發(fā)現(xiàn)靜壓氣體軸承在沖擊載荷、偏心載荷產(chǎn)生的力矩，以及系統(tǒng)本身加工、裝配的誤差導(dǎo)致的傾斜氣膜面的共同作用下始終存在側(cè)傾振動。這種側(cè)傾振動對超精密平臺的定位精度、穩(wěn)定性都產(chǎn)生了一定的影響。為降低這種側(cè)傾振動的危害，提升系統(tǒng)穩(wěn)定性，本文提出了靜壓氣體軸承的側(cè)傾靜

2、、動態(tài)特性的數(shù)值計算方法，分析了氣體軸承結(jié)構(gòu)參數(shù)、工作參數(shù)對其的影響規(guī)律，并通過實驗測試驗證了數(shù)值模型的準(zhǔn)確性。
　　本文首先在雷諾潤滑方程的基礎(chǔ)上，采用攝動法得到了靜壓氣體軸承的靜、動態(tài)特性。計算得到了有腔氣體靜壓軸承的靜、動態(tài)側(cè)傾剛度、阻尼。研究了氣體靜壓軸承結(jié)構(gòu)參數(shù)、外界載荷對氣體靜壓軸承靜態(tài)側(cè)傾剛度、阻尼的影響規(guī)律，分析了擠壓數(shù)，載荷等對有腔氣體靜壓軸承動態(tài)側(cè)傾剛度、阻尼的影響規(guī)律。
　　其次，搭建了氣體靜壓軸承側(cè)傾