光學(xué)散射測量中的儀器測量條件配置優(yōu)化方法研究.pdf

1、相比于掃描電子顯微鏡和原子力顯微鏡等傳統(tǒng)測量手段，光學(xué)散射測量技術(shù)在滿足納米級尺度測量要求的同時具有快速、低成本、非破壞性和易于集成等優(yōu)點，因而在納米制造等先進工藝監(jiān)測及優(yōu)化領(lǐng)域中得到了廣泛的應(yīng)用。目前，如何進一步實現(xiàn)更高精度和更快速度的納米結(jié)構(gòu)測量是光學(xué)散射測量技術(shù)的研究重點之一。
　　由于光學(xué)散射測量在本質(zhì)上是一種基于模型的測量方法，通過將實際測量數(shù)據(jù)與模型仿真數(shù)據(jù)進行匹配來反演提取出納米結(jié)構(gòu)參數(shù)值，故待測參數(shù)的測量精度主要取

2、決于模型仿真數(shù)據(jù)對待測參數(shù)的靈敏度，其反演提取速度則在很大程度上受到所選測量數(shù)據(jù)集的大小影響。其中，納米結(jié)構(gòu)參數(shù)的靈敏度可以通過改變測量條件配置進行改善，即調(diào)整入射波長λ、入射角θ和方位角φ等測量條件的組合；測量條件配置中所選取波長λ的數(shù)目越多，其對應(yīng)需分析的測量數(shù)據(jù)越多，但在理論上僅采用極大線性無關(guān)的最少量包含豐富待測結(jié)構(gòu)信息的測量數(shù)據(jù)即可反演出待測結(jié)構(gòu)參數(shù)。因此，可以通過選擇合適的測量條件配置使得納米結(jié)構(gòu)待測參數(shù)的靈敏度最高且反演分

3、析所需測量數(shù)據(jù)最少，進而實現(xiàn)納米結(jié)構(gòu)測量精度和速度的提高。
　　本學(xué)位論文以此為出發(fā)點，開展了光學(xué)散射測量中測量條件配置優(yōu)化方法的探索性研究。首先，本文利用組建的基于Mueller矩陣橢偏儀的納米結(jié)構(gòu)測量實驗平臺，對典型納米結(jié)構(gòu)測量過程展開了靈敏度特性分析，分析結(jié)果表明了通過選擇合適的測量條件配置可實現(xiàn)更高靈敏度的納米結(jié)構(gòu)測量。然后針對單個納米結(jié)構(gòu)和尺寸差異較大的批量納米結(jié)構(gòu)，分別就局部和全局靈敏度分析法對測量條件配置中入射角θ和

4、方位角φ的優(yōu)化問題展開研究。最后，在優(yōu)化入射角θ和方位角φ基礎(chǔ)上，利用線性相關(guān)分析法進一步研究了入射波長λ的優(yōu)化問題。主要工作和創(chuàng)新點如下：
　　基于局部靈敏度法分析了納米結(jié)構(gòu)待測參數(shù)與測量數(shù)據(jù)之間的不確定度傳遞規(guī)律，結(jié)合納米結(jié)構(gòu)實際測量過程推導(dǎo)得到將測量數(shù)據(jù)與待測參數(shù)之間的誤差傳遞公式，進而得到待測參數(shù)的不確定度估計公式。針對單個納米結(jié)構(gòu)，提出了一種以待測參數(shù)的相對不確定度之和為目標函數(shù)的測量條件配置優(yōu)化方法，以實現(xiàn)納米結(jié)構(gòu)所有

5、待測參數(shù)的統(tǒng)一最優(yōu)測量條件配置。
　　基于方差分析法推導(dǎo)了光學(xué)特性模型中輸入結(jié)構(gòu)參數(shù)不確定度影響模型輸出的全方差公式，得到了結(jié)構(gòu)參數(shù)的主效應(yīng)這一全局靈敏度衡量指標表達式，通過結(jié)合不同測量條件配置下待測結(jié)構(gòu)參數(shù)的主效應(yīng)與實際測量噪聲量級，定義了“不確定度指數(shù)”這一精度衡量指標，并結(jié)合傅里葉幅度靈敏度檢驗擴展法給出了其計算公式。針對尺寸差異較大的批量納米結(jié)構(gòu)，提出了一種以待測結(jié)構(gòu)參數(shù)不確定度指數(shù)為目標函數(shù)的測量條件配置優(yōu)化方法，從而實

6、現(xiàn)批量待測納米結(jié)構(gòu)的統(tǒng)一最優(yōu)測量條件配置。
　　在優(yōu)化入射角和方位角的基礎(chǔ)上，針對納米結(jié)構(gòu)實際值與設(shè)計值對應(yīng)光譜之間的偏差數(shù)據(jù)展開了線性相關(guān)度分析，通過考慮實際測量過程中的隨機誤差得到了對應(yīng)入射波長下測量光譜數(shù)據(jù)為冗余信息的條件不等式，進一步根據(jù)柯西不等式推導(dǎo)得出了識別冗余測量信息的目標函數(shù)。在此基礎(chǔ)上，提出了一種基于線性相關(guān)分析的測量條件配置優(yōu)化方法，實現(xiàn)以最少量的測量數(shù)據(jù)進行待測參數(shù)的逆向提取，從而提高測量速度而不影響其測量結(jié)