掃描探針電子能譜儀的研制及相關(guān)實(shí)驗(yàn)研究.pdf

1、隨著表面科學(xué)的蓬勃發(fā)展和表面分析技術(shù)的快速進(jìn)步，人們不再滿足于一種分析技術(shù)獲得一種表面信息的狀況，更加希望能夠用一種多功能分析系統(tǒng)較為完備地表征固體表面。將掃描隧道顯微鏡(STM)和電子能譜技術(shù)的結(jié)合組建的掃描探針電子能譜儀(Scanning Probe electron energy spectrometer: SPEES)是一種可行的方案。本文介紹了一臺(tái)新的SPEES裝置的設(shè)計(jì)、建造和調(diào)試，并利用SPEES裝置開(kāi)展的表面實(shí)驗(yàn)研究。<

2、br>　　第一章介紹了表面科學(xué)的形成和發(fā)展，系統(tǒng)地介紹了各種固體表面分析技術(shù)，尤其是將多種表面分析技術(shù)相結(jié)合的發(fā)展趨勢(shì)，并詳細(xì)介紹了國(guó)際上一些多功能分析系統(tǒng)。
　　第二章介紹了SPEES裝置各個(gè)組成部分，包括真空系統(tǒng)、傳送系統(tǒng)、STM系統(tǒng)、能量分析器、位置靈敏探測(cè)器和供電系統(tǒng)等。并給出了譜儀性能的設(shè)計(jì)指標(biāo)。
　　在第三章中，我們嚴(yán)格推導(dǎo)了雙環(huán)形能量分析器(Double Toroidal Analyser:DTA)內(nèi)部的電場(chǎng)分

3、布和帶電粒子在分析器內(nèi)部的運(yùn)動(dòng)軌跡，并獲得了描述DTA徑向平面點(diǎn)對(duì)點(diǎn)聚焦的一般公式。通過(guò)該公式我們可以簡(jiǎn)便的設(shè)計(jì)DTA參數(shù)。
　　第四章介紹了新搭建的SPEES裝置的調(diào)試工作。通過(guò)調(diào)試和優(yōu)化，譜儀的真空、能量分析器、探測(cè)器、電子學(xué)和數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)和在線軟件等都實(shí)現(xiàn)了正常工作，各項(xiàng)性能基本達(dá)到設(shè)計(jì)目標(biāo)。同時(shí)，我們還利用掃描模式完成了石墨樣品從零能量次級(jí)電子到彈性峰的全譜測(cè)量，并對(duì)次級(jí)電子能譜結(jié)構(gòu)做了標(biāo)識(shí)。
　　第五章介紹了在