刀具嵌入式切削力測(cè)量用薄膜傳感器關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf

1、精密、超精密加工技術(shù)的不斷發(fā)展,要求切削力測(cè)量傳感器及系統(tǒng)微小化、高精度、高分辨率、高響應(yīng)、實(shí)時(shí)性等。研制高精度、能適應(yīng)惡劣環(huán)境測(cè)量壓力要求的薄膜電阻測(cè)力傳感器具有廣闊的應(yīng)用前景和很好的社會(huì)效益?；贛EMS技術(shù),在刀具內(nèi)嵌入薄膜微傳感器測(cè)量切削力,可以直接的反應(yīng)刀具工作情況,具有準(zhǔn)確、有效、可靠性高的特點(diǎn)。
　　本文對(duì)嵌入刀具的薄膜傳感器測(cè)量切削力的關(guān)鍵技術(shù)做了如下研究:
　　1.分析研究了切削力測(cè)量?jī)x及切削測(cè)量技術(shù)的現(xiàn)狀

2、及發(fā)展,特別是切削力測(cè)量用的薄膜應(yīng)變傳感器的應(yīng)用與優(yōu)勢(shì),介紹了薄膜制備的方法與工藝。
　　2.在對(duì)薄膜傳感器的測(cè)力原理進(jìn)行分析的基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)了一種嵌入刀具的薄膜測(cè)力傳感器,具體在以下幾方面進(jìn)行了設(shè)計(jì):基片大小、薄膜傳感器在刀具表面的位置、薄膜敏感柵的形狀及阻值以及傳感器的絕緣層與保護(hù)層材料的選擇。本課題選定了Ni—Cr合金薄膜為傳感器電阻柵的材料。
　　3.將刀具—傳感器系統(tǒng)簡(jiǎn)化為懸臂梁結(jié)構(gòu),對(duì)刀具受力、電阻柵應(yīng)變、傳感器輸出