微加工技術(shù)在高精度位移傳感器中的應(yīng)用.pdf

1、隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展和人類生活水平的不斷提高，近年來出現(xiàn)了各種各樣的傳感器。高精度位移傳感器是一種新型的傳感器，相對于其它大位移傳感器，高精度位移傳感器具有其獨(dú)特的優(yōu)勢。這類傳感器的結(jié)構(gòu)比較多，其主要的特征是電極呈柵狀，因此也被稱為容柵式位移傳感器。當(dāng)電極之間發(fā)生平行移動(dòng)時(shí)，相對覆蓋面積發(fā)生變化，從而電容量隨之發(fā)生改變，實(shí)現(xiàn)幾何量的測量。因此，具有廣泛的應(yīng)用。
　　本文第一章首先介紹容柵式位移傳感器的發(fā)展?fàn)顩r，然后著重闡述容柵式

2、位移傳感器工作原理。容柵式位移傳感器可以分為直線型容柵位移傳感器、圓形容柵位移傳感器和圓筒型位移容柵傳感器。
　　高精度位移傳感器研發(fā)的主要過程是微加工工藝，第二章介紹了微加工原理、微加工發(fā)展歷程以及本實(shí)驗(yàn)的主要步驟，包括磁控濺射、紫外曝光光刻、刻蝕。
　　第三章講述磁控濺射。玻璃基片的潔凈程度對實(shí)驗(yàn)有很大的影響，優(yōu)化出清洗玻璃基片最佳方法。接著介紹了真空系統(tǒng)，給出磁控濺射實(shí)驗(yàn)真空獲得的步驟。然后重點(diǎn)講述了磁控濺射原理及其電