積分和二階滑?？刂圃诠饪虣C(jī)雙工件臺(tái)系統(tǒng)中的應(yīng)用.pdf

1、超精密雙工件臺(tái)系統(tǒng)是光刻機(jī)中最為核心的子系統(tǒng)之一，對(duì)光刻機(jī)運(yùn)行過(guò)程的硅片初始對(duì)準(zhǔn)、步進(jìn)掃描以及曝光等操作中起著關(guān)鍵性的作用，其跟蹤定位精度直接影響著光刻機(jī)的分辨率，其系統(tǒng)性能的優(yōu)劣與衡量光刻機(jī)性能的三大指標(biāo)聯(lián)系密切。所以針對(duì)雙工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)的高速度和高精度的指標(biāo)要求，本文主要對(duì)雙工件臺(tái)宏動(dòng)臺(tái)、微動(dòng)臺(tái)以及換臺(tái)過(guò)程進(jìn)行了運(yùn)動(dòng)控制研究。將滑?？刂品椒☉?yīng)用到了雙工件臺(tái)系統(tǒng)中，使系統(tǒng)的精度和抗擾性都得到了很大提高。
　　首先，針對(duì)雙工件臺(tái)的整體

2、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和工作原理，以及系統(tǒng)的換臺(tái)過(guò)程和掃描曝光過(guò)程，分析了雙工件臺(tái)系統(tǒng)的控制指標(biāo)，并按照其具體要求，對(duì)雙工件臺(tái)單自由度運(yùn)動(dòng)進(jìn)行了軌跡規(guī)劃，最后簡(jiǎn)要介紹了宏、微動(dòng)臺(tái)執(zhí)行機(jī)構(gòu)的選型。
　　其次，以雙工件臺(tái)的宏動(dòng)臺(tái)為例，在宏動(dòng)臺(tái)SISO解耦模型的基礎(chǔ)上提出了一種積分滑?？刂品椒?，該方法的優(yōu)點(diǎn)是能夠同時(shí)滿足調(diào)節(jié)時(shí)間和穩(wěn)態(tài)誤差這兩個(gè)重要的性能指標(biāo)，提高了控制系統(tǒng)的性能。而為了削弱滑模控制方法的抖振問(wèn)題，采用邊界層技術(shù)對(duì)滑模項(xiàng)進(jìn)行了改進(jìn)，通

3、過(guò)仿真與傳統(tǒng)PID控制方法進(jìn)行對(duì)比，證明了積分滑?？刂品椒ㄔ陔p工件臺(tái)系統(tǒng)中的可行性與有效性。
　　再次，雖然采用邊界層方法有效的改善了滑模的抖振效應(yīng)，但是卻使得滑模控制失去了抗震動(dòng)和抗擾動(dòng)的寶貴特性，對(duì)系統(tǒng)的抗干擾能力和穩(wěn)態(tài)性能都帶來(lái)了影響，所以對(duì)積分滑模方法的魯棒反饋?lái)?xiàng)進(jìn)行了重新設(shè)計(jì)，給出了一種二階滑?？刂品椒ā２⒏鶕?jù)滑?？刂浦星梆伩刂祈?xiàng)所存在的問(wèn)題，對(duì)前饋控制進(jìn)行了改進(jìn)設(shè)計(jì)，通過(guò)與積分滑?？刂品椒ㄟM(jìn)行了對(duì)比驗(yàn)證，證明了改進(jìn)方法