風(fēng)機(jī)過濾單元的性能試驗(yàn)與模擬優(yōu)化.pdf

1、隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，微電子、醫(yī)藥、生物等行業(yè)的的生產(chǎn)越來越精密化、微型化，生產(chǎn)工藝對生產(chǎn)環(huán)境的要求也日益提高，促使了潔凈技術(shù)也隨之迅速發(fā)展。近十幾年來，風(fēng)機(jī)過濾單元（Fan Filter Unit，簡稱FFU）因?yàn)榉奖闶┕ぐ惭b、節(jié)約空間、負(fù)壓密封等優(yōu)點(diǎn)在潔凈室中的應(yīng)用日益廣泛。但市場上的不同F(xiàn)FU產(chǎn)品在空氣動(dòng)力性能、能耗及噪聲等方面也存在較大的性能差異。因?yàn)?FFU的性能差異是受其內(nèi)部的結(jié)構(gòu)導(dǎo)致的，所以提高FFU性能必須從研究FFU內(nèi)部

2、結(jié)構(gòu)著手。目前國內(nèi)外一些學(xué)者也對不同F(xiàn)FU結(jié)構(gòu)組件的性能進(jìn)行了試驗(yàn)研究，但通過CFD對FFU內(nèi)部流場進(jìn)行模擬優(yōu)化的較少。
　　為了評價(jià)和研究FFU產(chǎn)品的性能，本文通過FFU性能試驗(yàn)臺(tái)，對FFU各項(xiàng)的性能參數(shù)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)測試。首先對比了不同模數(shù)FFU的出風(fēng)均勻性，接著對多種FFU進(jìn)行了空氣動(dòng)力性能試驗(yàn)，然后研究了轉(zhuǎn)速、擋板形式對FFU的性能影響。對比結(jié)果說明，不同F(xiàn)FU的性能差異巨大，單一FFU機(jī)組受結(jié)構(gòu)組件影響明顯。
　　為提高

3、FFU內(nèi)氣流離開風(fēng)機(jī)至下層腔體的導(dǎo)流效果，根據(jù)離心式風(fēng)機(jī)蝸殼設(shè)計(jì)方法，對其擴(kuò)壓出口段進(jìn)行等截面處理，避免出現(xiàn)普通的的蝸型流道導(dǎo)致的漩渦與回流。通過實(shí)物尺寸建模后進(jìn)行CFD模擬，對比結(jié)果顯示，45o蝸舌安放角的等截面蝸型流道表現(xiàn)最優(yōu)，相較于市場上的普通蝸型流道設(shè)計(jì)，在0.45m?s-1面風(fēng)速、800rpm轉(zhuǎn)速下，其靜壓要比其高出45Pa左右，效率則高出13％。將離心風(fēng)機(jī)集流器由錐形設(shè)計(jì)優(yōu)化為圓弧形設(shè)計(jì)，經(jīng)模擬驗(yàn)證在相同靜壓下，其流量與空氣