非旋轉(zhuǎn)對稱光學(xué)非球面（柱面）面形絕對檢驗(yàn)技術(shù)研究.pdf

1、非旋轉(zhuǎn)對稱光學(xué)非球面元件，如柱面元件等，具有獨(dú)特的光學(xué)特性，在天文、強(qiáng)激光等先進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)中得到了廣泛應(yīng)用。但因其非旋轉(zhuǎn)對稱的特點(diǎn)，尚未有高精度的絕對檢測方法。計(jì)算全息元件（Computer-Generated Hologram，CGH）可以產(chǎn)生任意形狀的波前，可實(shí)現(xiàn)復(fù)雜光學(xué)元件的零位干涉檢測，但系統(tǒng)誤差及參考誤差的存在限制了計(jì)算全息法的檢測精度。為了進(jìn)一步提高檢測精度，本文在計(jì)算全息零位檢測技術(shù)的基礎(chǔ)上，以非旋轉(zhuǎn)對稱光學(xué)非球面中的特例—

2、—柱面元件為研究對象，研究了基于共軛差分干涉術(shù)的面形絕對檢驗(yàn)技術(shù)。主要研究內(nèi)容有:
　　針對一柱面元件，完成柱面補(bǔ)償用CGH的設(shè)計(jì)與加工，搭建干涉測量裝置，實(shí)現(xiàn)柱面元件的零位干涉檢測;采用切比雪夫多項(xiàng)式對檢測過程中的像差進(jìn)行分析，實(shí)現(xiàn)了裝調(diào)誤差的分離。
　　采用多種算法對待測面的微分波面進(jìn)行復(fù)原仿真，得到待測柱面的絕對面形分布;相比于差分干涉法，共軛差分干涉法提高了面形復(fù)原精度，增強(qiáng)了測試可靠性;同時(shí)，通過疊加實(shí)際測試過程中