石英微晶探測器的特性與超聲對晶體生長影響的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本論文的目的是研究石英微晶探測器的性能，并探討超聲對結(jié)晶的影響。 石英微晶探測器是利用石英的振蕩頻率隨著在其表面結(jié)晶的晶體生長而漂移的原理，通過測量頻率漂移來精確監(jiān)測晶體生長的。本文首先較系統(tǒng)的建立了四種探測器的理論模型，即簡諧振子模型、聲傳輸線模型、等效電路模型及有限元模型，計算了石英晶體共振頻率與結(jié)晶厚度之間的關(guān)系。然后我們在實驗室建立了一套石英微晶探測器的實驗系統(tǒng)，它由石英探測器、信號采集與處理電路板及微機數(shù)據(jù)采集與處

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