激光全息制備光子晶體模板.pdf

1、浙江大學(xué)碩士學(xué)位論文激光全息制備光子晶體模板姓名：徐蘇申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：工程光學(xué)指導(dǎo)教師：何賽靈20060912浙江人學(xué)碩j 二論文A b s t r a c tA s t h e s i l i c o n m a t e r i a l w i t h e l e c t r o n i c b a n d ·g a p l e a d t o t h e v i g o r o u sd e v e l o p m

2、 e n t o f t h em o d e m e l e c t r o n i ci n d u s t r y , t h ep h o t o n i cc r y s t a l sw i t hp h o t o n i cb a n d —g a pw i l l b et h ef o r e g r o u n d o ft h eo p t i c a l d e v e l o p m e n ta n di

3、n n o v a t i o n ．T h et r e m e n d o u s a p p l i c a t i o n f o r e g r o u n do fp h o t o n i cc r y s t a l s u p s u r g et h e r e s e a r c h i nf a b r i c a t i n g p e r i o d i c a r t i f i c i a l s t r

4、 u c t u r e s i n m a n yf a m o u s l a b s a l l o v e rt h e w o r l dd u r i n gt h el a s t d e c a d e ，w h i c hm a d et h ep h o t o n i cc r y s t a l sb e c o m e av e r yi m p o r t a n tr e s e a r c hd i r

5、e c t i o n ．T h e m a i nr e s e a r c hi st oU S eh o l o g r a p h i cl i t h o g r a p h yt o c r e a t e2 - Dh o l o g r a p h i cc r y s t a l t e m p l a t e sw h o s e p e r i o d i s1 ．5 u r n ．T h ec h a r a c

6、t e r o f h o l o g r a p h i cl i t h o g r a p h yi st oU S e N l a s e r b e a m s t of o r m i n t e r f e r e n c ep a t t e r n ，w h i c h i su s e d t ob e r e c o r d e di nt h es e n s i t i z a t i o nm a t e r

7、 i a l s ，S Ot h a t i t c a nf o r mf r o m1 - Dt o 3 - Dp e r i o d i cs t r u c t u r e ，W ew i l l s t a r t o u r w o r kw i t hi - D h o l o g r a p h i cc r y s t a l s ，a n dt h e nm a n a g e t O c r e a t e2 -

8、Dh o l o g r a p h i cc r y s t a l ss t e pb y s t e p ．T h ef o l l o w i n g a r e o u r a s s i g n m e n t ：N o ．1 ：T h i s p a p e r r e v i e w s t h e r e c e n t d e v e l o p m e n t o f t h e s t u d y o n t h

9、 em i c r o f a b r i c a t i o n t e c h n i q u e u s i n g h o l o g r a p h i c l i t h o g r a p h y c o m b i n e d w i t hp h o t o —p o l y m e r i z a t i o n ．w e d e s c r i b et h ee x p e r i m e n t o f a n

10、o r d i n a r y p r o c e s s ，i n c l u d i n gt h es e t u p ，c r y s t a l l a t t i c ec o n s t a n t a n db e a ms t r u c t u r e ，t h e r e l a t i o n s h i pw i t h t h ew a v e l e n g t ho f t h e l a s e r ,

11、 h o w t oc h o o s e t h el i g h t s o u r c ea n d t h ep o l y m e r ．N o ．2 ：U s eM a t l a b s o f t w a r e t o c a l c u l a t es o m ei m p o r t a n tg e o m e t r yp a r a m e t e r s o fI - D a n d 2 - D h o

12、l o g r a p h i c c r y s t a l s ，f o re x a m p l e t h ea n g l e sa m o n g a l lt h eb e a m s ．N o ．3 ：D e s i g n a n d b u i l d t h el i g h t r o u t et oc r e a t e1 - D a n d 2 - D h o l o g r a p h i c c r y

13、 s t a lt e m p l a t e s ．N o ．4 ：U s eh o l o g r a p h i cl i t h o g r a p h yt o c r e a t e 1 - Da n d 2 - Dh o l o g r a p h i cc r y s t a lt e m p l a t e s ，t h e nr e c o r d a n d p r o c e s s t h e d a t a