用于冷陰極場發(fā)射器件的高壓脈沖電源的研制.pdf

1、目前,高壓脈沖技術在冷陰極場致發(fā)射、等離子技術、化工、廢水處理等方面的應用越來越廣泛,對高壓脈沖電源的性能指標的要求也越來越高。脈沖技術正在向著更高電壓、更高頻率、更窄的脈沖寬度、更高功率、更低成本、更小的體積和重量的方向發(fā)展。 絕緣柵雙極型晶體管(IGBT)問世以來,在脈沖功率技術中得到廣泛應用,它具有耐壓高,飽和電流大,響應速度快等優(yōu)點。目前市場上的IGBT額定耐壓只有1200V-3200V左右,雖然ABB等公司6500V的

2、IGBT產(chǎn)品已經(jīng)面世,但是其價格昂貴,且開關損耗大,開關速度與低壓IGBT產(chǎn)品相比有明顯的下降。因此,串聯(lián)IGBT技術深受國內(nèi)外研究人員的重視,但是現(xiàn)有技術尚有很多不足,例如結構復雜、成本太高、可靠性差等。 本論文主要研究了一種新型的基于串聯(lián)IGBT互補開關結構的高壓脈沖電源。該脈沖電源采用多個IGBT串聯(lián),提高脈沖主回路開關的耐壓等級；利用互補開關結構,增強了脈沖電源的驅(qū)動能力,脈沖電源最高輸出電壓為10000V,脈沖寬度可調(diào)