滁州華瑞微電子科技有限公司半導體idm芯片項目環(huán)境影響報告書

1、 目 錄 1 概 述........................................................................................................................................ 1 2 總 則..............................................................

2、.......................................................................... 9 3 建設(shè)項目概況及工程分析...................................................................................................... 29 4 環(huán)境現(xiàn)狀調(diào)查與評價...........

3、................................................................................................... 44 5 環(huán)境影響預測與評價.........................................................................................................

4、..... 62 6 環(huán)境保護措施及其可行性論證............................................................................................ 126 7 環(huán)境影響經(jīng)濟損益分析.....................................................................................

5、................... 147 8 環(huán)境管理與監(jiān)測計劃............................................................................................................ 150 9 環(huán)境影響評價結(jié)論與要求.........................................................

6、........................................... 160 2 區(qū)環(huán)境現(xiàn)狀調(diào)查，以及本項目對環(huán)境影響的預測與評價，編制出本環(huán)境影響報告書，呈報環(huán)境保護管理部門審批。 1.2 項目特點 項目特點 （1）本項目為新建項目，主要從事 6 寸功率器件晶圓的生產(chǎn)。 （2）本項目采用成熟工藝，包括硅片清洗、氧化、退火、光刻、堅膜、剝底膜、刻蝕、去膠、摻雜、化學氣相沉積、物理氣相沉積、合金、減薄等。 （3）本項目

7、產(chǎn)生的廢氣主要為酸性廢氣、堿性廢氣、有機廢氣等，其中酸性廢氣通過POU+1 套堿液噴淋吸收塔處理；堿性廢氣通過酸液噴淋吸收塔處理；有機廢氣通過沸石轉(zhuǎn)輪濃縮燃燒系統(tǒng)出來。廢水主要為酸堿廢水、含氟廢水、有機廢水、研磨廢水、氨氮廢水，進行分類收集、分類處理后，達標后排入南譙新區(qū)污水處理廠。 1.3 環(huán)評工作過程 環(huán)評工作過程 ◆2020 年 9 月 2 日，我公司受滁州華瑞微電子科技有限公司委托，承擔《滁州華瑞微電子科技有限公司半導體 IDM

8、 芯片項目環(huán)境影響報告書》的編制工作。 ◆2020 年 9 月 8 日，該項目環(huán)評第一次公示在網(wǎng)站上發(fā)布。 ◆2020 年 9~10 月，根據(jù)項目單位提供的技術(shù)資料等進行工程分析，確定評價思路、評價重點及各環(huán)境要素評價等級。 ◆2020 年 10 月，委托監(jiān)測單位對項目區(qū)進行大氣環(huán)境、地表水環(huán)境、地下水環(huán)境、土壤環(huán)境、聲環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測。 ◆2020 年 11 月~2021 年 3 月，項目課題組根據(jù)分工進行各專題編寫、匯總，提出污染防