gbt 14602-2014 電子工業(yè)用氣體 氯化氫

1、I C S7 1 . 1 0 0 . 2 0G 8 6中 華 人 民 共 和 國 國 家 標 準G B / T1 4 6 0 2 — 2 0 1 4代替 G B / T1 4 6 0 2 — 1 9 9 3 、 G B / T2 4 4 6 9 — 2 0 0 9電子工業(yè)用氣體 氯化氫G a s e s f o r e l e c t r o n i c i n d u s t r y —H y d r o g e nc h l o r

2、 i d e2 0 1 4 - 1 2 - 2 2發(fā)布 2 0 1 5 - 0 7 - 0 1實施中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中 國 國 家 標 準 化 管 理 委 員 會發(fā) 布電子工業(yè)用氣體 氯化氫1范圍本標準規(guī)定了氯化氫的技術要求、 試驗方法、 標志、 包裝、 貯運及安全。本標準適用于以工業(yè)氯化氫為原料, 采用純化制得的氯化氫產品。該產品主要用于微電子工業(yè)中氣相拋光、 外延和刻蝕工藝, 也可用于硬質合金、 玻璃表面處理、

3、 醫(yī)藥中間體和精細化學品制造、 科學研究等領域。分子式: H C l 。相對分子質量: 3 6 . 4 5 8 ( 按2 0 0 9年國際相對原子質量計算) 。2規(guī)范性引用文件下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件, 僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件, 其最新版本( 包括所有的修改單) 適用于本文件。G B1 9 0危險貨物包裝標志G B / T3 7 2 3工業(yè)用化學產品采樣安全通則G B5 0

4、9 9鋼質無縫氣瓶G B / T5 8 3 2 . 3氣體中微量水分的測定 第3部分: 光腔衰蕩光譜法G B7 1 4 4氣瓶顏色標志G B1 4 1 9 3液化氣體氣瓶充裝規(guī)定G Bl 5 2 5 8化學品安全標簽編寫規(guī)定G B1 6 8 0 4氣瓶警示標簽G B / T2 6 5 7 1特種氣體儲存期規(guī)范G B / T2 8 7 2 6 — 2 0 1 2氣體分析 氦離子化氣相色譜法氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程( 2 0 0 0版)危險化學品安

5、全管理條例( 2 0 0 2版)特種設備安全監(jiān)察條例( 2 0 0 9版)3技術要求氯化氫的技術要求應符合表1的要求。表 1技術指標項 目 指 標氯化氫純度( 體積分數(shù)) / 1 0-2 ≥ 9 9 . 9 9 9 9 9 . 9 9 95氧+氬( O 2+A r ) 含量( 體積分數(shù)) / 1 0-6 < 1 . 0 0 . 5氮( N 2) 含量( 體積分數(shù)) / 1 0-6 < 2 . 0 2 . 0二氧化碳( C O