螺桿真空泵轉(zhuǎn)子參數(shù)化設(shè)計及潤滑系統(tǒng)開發(fā).pdf

1、近年來在半導(dǎo)體工業(yè)和液晶顯示器制造工藝中，對清潔真空環(huán)境的要求越來越高，而傳統(tǒng)的有油真空泵己經(jīng)達(dá)不到這樣的要求了。螺桿型干式真空泵以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)點，得到越來越多制造和應(yīng)用單位的重視，在干式真空泵市場中占有重要的地位。在歐美和日本等發(fā)達(dá)國家，螺桿型干式真空泵在很多領(lǐng)域已經(jīng)越來越多的代替了傳統(tǒng)的有油泵。但由于螺桿泵加工難度大，我國使用的螺桿泵主要依靠進口，價格非常昂貴。
　

2、　 針對當(dāng)前我國CAD技術(shù)應(yīng)用日益普及和推廣，而螺桿真空泵轉(zhuǎn)子CAD二次開發(fā)相對落后的現(xiàn)狀，木文利用Pro/Engineer提供的二次開發(fā)土具Pro/Toolkit和VisualC++6.的集成開發(fā)環(huán)境，對Pro/Engineer進行二次開發(fā)，建立了一個快速的設(shè)計系統(tǒng)。該系統(tǒng)采用三維造型技術(shù)與參數(shù)化設(shè)計相結(jié)合的方法，通過Pro/Toolkit應(yīng)用程序設(shè)計模塊，進入螺桿真空泵轉(zhuǎn)子零件模型庫，對零件模型進行調(diào)用，修改、再生等操作，從而實現(xiàn)

3、螺桿真空泵轉(zhuǎn)子的快速設(shè)計。
　　 首先，在對螺桿真空泵轉(zhuǎn)子的特點進行分析的基礎(chǔ)上，利用Pro/Engineer的三維建模和參數(shù)化功能，設(shè)計初始零件模型，建立螺桿真空泵轉(zhuǎn)子零件模型庫。
　　 其次，在研究了Pro/Engineer零件參數(shù)化設(shè)計方法及其特點的基礎(chǔ)上，建立螺桿真空泵轉(zhuǎn)子參數(shù)化設(shè)計的系統(tǒng)，開發(fā)零件參數(shù)化設(shè)計的程序模塊。通過Pro/Toolkit程序設(shè)計，實現(xiàn)各個應(yīng)用程序模塊與Pro/Engineer系統(tǒng)的無縫集

4、成，建立螺桿真空泵轉(zhuǎn)子設(shè)計系統(tǒng)。
　　 由于進行螺桿真空泵轉(zhuǎn)子設(shè)計時的零件模型是通過調(diào)用零件庫中的模型再生得到的，避免了設(shè)計系列化零件模型的重復(fù)勞動，提高了設(shè)計效率，使得螺桿真空泵轉(zhuǎn)子設(shè)計更為方便快捷。同時，該軟件系統(tǒng)的開發(fā)為商用CAD軟件在機械設(shè)計領(lǐng)域的應(yīng)用研究提出新的途徑。
　　 在立式真空泵中已部分存在結(jié)構(gòu)簡單、工作可靠的螺旋供油式潤滑系統(tǒng)。然而，關(guān)于這種潤滑系統(tǒng)在以往使用情況下僅憑經(jīng)驗而實踐還尚未見到相關(guān)理論闡述