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1、本文就沉積工藝的特點(diǎn)對(duì)豎式沉積爐的結(jié)構(gòu)選型進(jìn)行了研究,比較了中頻加熱和電阻加熱兩種加熱方式的加熱原理和爐型特點(diǎn),確定電阻加熱是豎式沉積爐合適的加熱方式,結(jié)合沉積爐的作業(yè)特點(diǎn),分析了爐襯選材的特殊要求。就當(dāng)前沉積爐電熱絲頻繁燒斷的現(xiàn)象,運(yùn)用電熱體單位表面功率理論,對(duì)其電熱體單位表面功率進(jìn)行了測(cè)算和分析,結(jié)合其具體的安裝形式,確定原因在于電熱絲的單位表面功率設(shè)計(jì)余量不足,加之電熱絲遮蔽系數(shù)較大,以及電熱絲引出端的焊接形式不當(dāng)。根據(jù)新的工藝要
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