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文檔簡介
1、近年來,鐵電薄膜已成為新型功能材料及微器件的研究熱點(diǎn)。然而,可靠性問題如疲勞和印記被認(rèn)為是器件應(yīng)用的障礙。因此,理解這些失效的物理機(jī)制對鐵電材料以及鐵電薄膜存儲(chǔ)器的應(yīng)用和提高鐵電材料及微器件的性能都是非常重要的。鐵電體的自發(fā)極化是鐵電材料的一個(gè)重要特性。不同的外加條件以及缺陷的產(chǎn)生和重新分布等影響了鐵電極化反轉(zhuǎn)能力,疇變效應(yīng)將會(huì)導(dǎo)致集成系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和器件的失效。因此,研究鐵電材料的疇結(jié)構(gòu)及翻轉(zhuǎn)過程以及外場對極化反轉(zhuǎn)的作用,從而探討鐵電材料和
2、器件的失效原因是非常必要的。相場模型已被用來研究鐵電體中疇結(jié)構(gòu)演化過程和外電場下極化的反轉(zhuǎn)。本文創(chuàng)新之處在于用相場理論建立了描述疇結(jié)構(gòu)的隨時(shí)間演化過程的模型,分析了頻率及應(yīng)力對鐵電性能的影響??紤]了界面層的影響,并討論了引起印記失效的原因。其主要研究內(nèi)容分以下三個(gè)部分:
1.采用相場理論,用時(shí)變-德文希爾-金茲堡-朗道(TDGL)方程,以極化強(qiáng)度為序參量,模擬了鈦酸鉍疇結(jié)構(gòu)的微觀演化過程,得到了電場-極化的電滯回線。在總自
3、由能中引入了由外加交變電場產(chǎn)生的靜電能項(xiàng),分析了頻率的變化對鐵電性能的影響。其結(jié)果表明,新疇的形成經(jīng)歷了成核、核成長、擴(kuò)張和合并的過程;在疇翻轉(zhuǎn)過程中,新疇的產(chǎn)生和舊疇的消失都在邊界處發(fā)生;在不同頻率的交變電場作用下,矯頑場隨著電場頻率的增加而增加,而剩余極化強(qiáng)度沒有明顯的變化。模擬得到的結(jié)果與實(shí)驗(yàn)一致。
2.在外加一個(gè)恒定的應(yīng)變下,用相場理論模擬了在電場下極化反轉(zhuǎn)過程。模擬的結(jié)果表明,為了降低應(yīng)變能使自由能達(dá)到最小,90
4、°疇形成而沒有180°疇的形成。用該模型獲得了不同應(yīng)力情況下的電滯回線和蝶形曲線,并分析了應(yīng)力對鐵電性能的影響。計(jì)算結(jié)果顯示,剩余極化強(qiáng)度隨著壓應(yīng)力的增大而增大(與應(yīng)力為零是的極化強(qiáng)度相比),隨著張應(yīng)力的增大而減小。場致應(yīng)變隨著壓應(yīng)力的增大而增大,隨著張應(yīng)力的增大而減小。模擬得到的結(jié)果與實(shí)驗(yàn)一致。
3.采用TDGL方程分別對鐵電層和界面層中極化隨時(shí)間發(fā)生改變進(jìn)行了描述,模擬得到了在界面層和鐵電層的電滯回線。結(jié)果表明,鐵電層
5、中的電滯回線中產(chǎn)生了一個(gè)負(fù)的極化率區(qū)域。這就意味著由于界面層的存在,造成疇結(jié)構(gòu)的釘扎,使得疇結(jié)構(gòu)更難反轉(zhuǎn),從而需要在該方向加大電場強(qiáng)度來使極化發(fā)生偏轉(zhuǎn),即造成了該方向矯頑場的偏移,引起了印記的失效。由于介電常數(shù)的不同,鐵電層與界面層中的電場重新分布。界面層中電場強(qiáng)度很高并出現(xiàn)了一個(gè)正向偏移,而鐵電層中的電場強(qiáng)度較低且出現(xiàn)了一個(gè)負(fù)向偏移。改變不同的界面層厚度比,發(fā)現(xiàn)由于界面層厚度比越大,空間電荷的數(shù)目就越多,則形成的內(nèi)建電場就越大,矯頑場
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