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1、伴隨著半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)工藝的不斷改進(jìn)，人們?cè)谠O(shè)計(jì)和生產(chǎn)這兩個(gè)集成電路產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)所需要的投入的注意力越來(lái)越多。而設(shè)計(jì)步驟和生產(chǎn)步驟的關(guān)系也發(fā)生著近乎本質(zhì)的變化。我們必須投入越來(lái)越多的精力在一個(gè)愈加重要的領(lǐng)域——DFM(Design for Manufacturability為可制造性而設(shè)計(jì))。這個(gè)新穎的DFM概念包括和制造領(lǐng)域相關(guān)的很多方面，其中光刻相關(guān)的RET(ResolutionEnhancement Technology分辨率增
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