芯片制造工藝中的靜電放電（ESD）及其防治對策研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著電子工業(yè)的飛速發(fā)展,靜電在電子產品的生產和使用中的危害日趨嚴重,造成不可估量的經濟損失.以美國為例,電子工業(yè)部門每年因靜電造成的損失高達100億美元.在電子工業(yè)中,靜電危害主要表現(xiàn)為靜電放電.靜電放電會使電子元器件失效或存在隱患,甚至使電子產品完全損壞.該論文從靜電放電的機理入手,論述了在芯片生產過程中靜電放電產生的原因以及對電子產品的危害,并重點討論了芯片制造車間靜電測試的理論與實踐.在此基礎上,以在上海貝嶺股份公司的實際測試工作

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