X射線運動學理論及其在半導體外延材料分析中的應用.pdf

1、該論文在運動學理論中引入一定的修正策略后,將其應用于一般材料的分析.主要工作內(nèi)容有:1.闡述了X射線運動學理論基本的物理思想并推導了它對外延材料重要 參數(shù)的分析和處理.詳細論述了應用運動學理論進行材料分析時所受到 的限制.2.基于運動學理論,結(jié)合外延材料的實際特點,分析了將運動學理論應用 于實際材料分析時需要著重考慮的襯底衍射、薄層效應、儀器效應等問 題并給出了相應的解決方案.3.對單外延層結(jié)構(gòu)材料、量子階結(jié)構(gòu)材料、含超晶格結(jié)構(gòu)材料等,

2、分別應 用動力學理論和運動學理論作了對比分析.所得結(jié)果證實了所引入修正 策略的合理性和可行性.4. 在對以上典型材料的分析中,結(jié)合特定的材料特性,闡述了應用運動學 理論分析的優(yōu)點并指出了仍然存在的問題,針對問題提出了改進的方 向.我們的實驗結(jié)果證明:對于大多數(shù)結(jié)構(gòu)比較簡單的材料,在引入適當?shù)男拚呗院?運動學理論能得到與測量曲線吻合更好的擬合結(jié)果;當材料結(jié)構(gòu)過于復雜時,運動學理論對于材料參數(shù)的靈敏度會低于動力學理論;此外,運動學理論的應