復雜制造系統(tǒng)設備維護調(diào)度的研究.pdf

1、隨著現(xiàn)代工業(yè)和信息科技的迅猛發(fā)展，復雜制造系統(tǒng)的規(guī)模逐漸擴大，整個系統(tǒng)的自動化水平不斷得到提高。特別是近幾十年，提出了許多具有數(shù)字化、信息化、智能化等特征的制造系統(tǒng)，如敏捷制造系統(tǒng)、智能制造系統(tǒng)和規(guī)模制造系統(tǒng)等。日益復雜化和自動化的制造系統(tǒng)，對生產(chǎn)設備的穩(wěn)定性和利用率等方面提出了比較高的要求。如何制定合理的設備維護方案，利用可用的維護資源準確快速的對設備進行維護保養(yǎng)，降低設備故障和成品率損失，提高制造企業(yè)的競爭力及可創(chuàng)造的市場價值，是近

2、年來學術界和工程界研究的一個重大課題。本文針對復雜制造系統(tǒng)的典型代表-半導體制造過程的設備維護調(diào)度問題，從維護建模、維護策略等方面開展研究，探索合理的設備維護策略:
　　 1.針對連續(xù)狀態(tài)劣化模型的特征，采用MonteCarlo方法模擬設備的連續(xù)衰減過程，以周期檢測的方式討論系統(tǒng)控制界限規(guī)則的視情維護策略。
　　 2.在考慮設備經(jīng)濟相關性和系統(tǒng)配置的基礎上，根據(jù)設備劣化水平、故障類型等因素提出事后維修與視情機會維修相結合

3、的多設備系統(tǒng)維護決策。
　　 3.針對半導體制造系統(tǒng)設備故障率、成品率等性能指標，提出一個針對半導體生產(chǎn)設備的兩層維護優(yōu)化結構，其中設備層利用Markov決策過程理論制定針對單設備多產(chǎn)品系統(tǒng)的序貫檢測策略;系統(tǒng)層根據(jù)設備層的各種信息和有限的可用維護資源制訂短期維修調(diào)度計劃。
　　 復雜制造系統(tǒng)設備維護調(diào)度所涉及的模型和分析方法非常復雜，所要考慮的制造過程生產(chǎn)計劃、生產(chǎn)線WIP等因素較多，還存在許多尚未解決的問題。本文是針