自動組合裝置的賦時有色佩特里網(wǎng)模型的建立、仿真與分析.pdf

1、近年來半導(dǎo)體制造業(yè)在全球范圍發(fā)展迅速。但是半導(dǎo)體極其復(fù)雜的制造過程導(dǎo)致了較高的行業(yè)壁壘和制造成本。制造過程中需要牽涉到上百道工序和許多關(guān)鍵核心設(shè)備,其中就包括了自動組合裝置。自動組合裝置是半導(dǎo)體制造過程中的關(guān)鍵設(shè)備,往往也是瓶頸設(shè)備。對其進(jìn)行迅速而直觀的量化分析對提高半導(dǎo)體生產(chǎn)效率和制造成本的預(yù)測均有著重大意義。而獲得一個合理的分析結(jié)果的關(guān)鍵在于為自動組合裝置建立合適的模型。該模型必須合理而簡潔,能夠客觀反映自動組合裝置運(yùn)行的物理過程和

2、狀態(tài),模擬晶圓走向并且通過仿真獲得晶圓運(yùn)行各狀態(tài)下的時間信息。所有的仿真過程能夠圖形化的顯示出來,以便直觀的了解各單位在每個步驟的實(shí)時運(yùn)行狀態(tài)。有色賦時佩特里網(wǎng)的出現(xiàn)使其成為解決此類建模問題的有效途徑。佩特里網(wǎng)本身能用以對離散事件系統(tǒng)進(jìn)行模型建立,而其拓展集有色賦時佩特里網(wǎng)能夠支持類似面向?qū)ο蟮奶匦?使得原來龐大復(fù)雜的網(wǎng)絡(luò)變得簡潔而模塊化。函數(shù)功能的引入讓網(wǎng)絡(luò)能夠?qū)崿F(xiàn)更多更復(fù)雜的應(yīng)用。賦時特性能夠精確的描述不同事件發(fā)生的先后順序,讓精確