高功率980nm垂直腔面發(fā)射激光列陣.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、垂直腔面發(fā)射激光器(VerticalCavitySurfaceEmittingLasers,簡稱VCSEL)以其優(yōu)異的性能有望成為信息時代的新光源。本論文設計和制作了980nm垂直腔面發(fā)射激光器列陣，主要內(nèi)容如下： 從多量子阱的速率方程出發(fā)得出了閾值電流的表達式；計算了注入電流與輸出功率的關系；由垂直腔底發(fā)射激光器的電流傳播模型得出了熱源分布。 分析了腔鏡反射率、量子阱數(shù)等參數(shù)對閾值電流、輸出光功率的影響，并根據(jù)理論計算

2、對器件參數(shù)進行了優(yōu)化設計。 對垂直腔面發(fā)射激光器的濕法腐蝕技術、選擇氧化工藝、合金工藝等關鍵工藝進行了研究，得到了最佳工藝條件。 采用氧化物限制方法制作的垂直腔底發(fā)射激光器，有源區(qū)直徑為500μm、600μm的單管在室溫下均獲得了最高連續(xù)光輸出功率1.95W，是目前國際上所實現(xiàn)的單管室溫連續(xù)輸出最高功率值。 研究了熱阻、發(fā)射波長、光譜半高寬、光輸出功率隨有源區(qū)直徑和注入電流的關系。 研究了直徑200μm的

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