壓電微步進(jìn)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器的研究.pdf_第1頁
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文檔簡(jiǎn)介

1、微位移機(jī)電系統(tǒng)在微電子工程、計(jì)量科學(xué)與技術(shù)、精密工程、生物工程、納米科學(xué)與技術(shù)等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用。微步進(jìn)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器是微位移機(jī)電系統(tǒng)的關(guān)鍵部件之一。
　　 本文設(shè)計(jì)了一種新型微步進(jìn)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器，該驅(qū)動(dòng)器的核心元件--運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)--采用螺旋變形原理和對(duì)稱結(jié)構(gòu)，將壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的軸向微位移轉(zhuǎn)換成微角位移輸出，運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)與箝位運(yùn)動(dòng)相配合，使微步進(jìn)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器的輸出軸連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)；本文還分析了壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的材料和工作模式，對(duì)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器進(jìn)行了

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