微夾持器控制器設(shè)計(jì)與振動(dòng)控制研究.pdf

1、微夾持器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備,機(jī)器人,生物醫(yī)療等設(shè)備當(dāng)中,微夾持器目前普遍采用壓電式微夾持器,它具有重量輕,輸出力大,不易受電磁干擾等特點(diǎn)。本文提出了相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電路解決方案和驗(yàn)證了用于抑制壓電式微夾持器的振動(dòng)的輸入整形算法,并且能夠應(yīng)用于多種工作平臺(tái)中。
　　首先介紹了壓電式微夾持器的基本組成機(jī)構(gòu)和工作原理。根據(jù)實(shí)際需求設(shè)計(jì)研究了基于TMS320F2812的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的整體設(shè)計(jì)方案和各個(gè)部分的工作原理,為微夾持器振動(dòng)控制研究提

2、供硬件電路驅(qū)動(dòng)基礎(chǔ)。
　　由于在驅(qū)動(dòng)壓電式微夾持器時(shí),在其張開和關(guān)閉的過程中,會(huì)出現(xiàn)的柔性放大機(jī)構(gòu)夾持末端出現(xiàn)抖動(dòng)現(xiàn)象,會(huì)嚴(yán)重干擾壓電式微夾持器的工作。基于以上這種情況,本文介紹了輸入整形抑制振動(dòng)算法的基本概念并且分析了三種時(shí)滯濾波器在抑制微夾持器振動(dòng)方面的優(yōu)缺點(diǎn),驗(yàn)證了輸入整形濾波器在壓電式微夾持器振動(dòng)抑制方面的控制效果和魯棒性。通過嵌入輸入整形算法,使微夾持器振動(dòng)時(shí)間由原來的25ms控制到0.5ms的范圍內(nèi),壓電式微夾持器的振