脈沖電壓測(cè)量單元設(shè)計(jì).pdf

1、密級(jí)桂林電子科技大學(xué)碩士學(xué)位論文題目脈沖電壓測(cè)量單元設(shè)計(jì)（英文）（英文）TheDesignofPulseVoltageMeasuringUnit研究生學(xué)號(hào):122081822研究生姓名:唐源指導(dǎo)教師姓名、職務(wù)指導(dǎo)教師姓名、職務(wù):李智教授申請(qǐng)學(xué)位門類:工學(xué)碩士學(xué)科、專學(xué)科、專業(yè)名稱:儀器科學(xué)與技術(shù)提交論文日期:2015年4月論文答辯日期:2015年6月摘要I摘要半導(dǎo)體器件廣泛應(yīng)用于航空航天、交通運(yùn)輸、電力等重點(diǎn)領(lǐng)域，而我國(guó)半導(dǎo)體的材料、制

2、造工藝、生產(chǎn)技術(shù)等與美國(guó)等發(fā)達(dá)國(guó)家相比，仍有比較大的差距。為加快國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體器件工藝等技術(shù)的發(fā)展，需要研制脈沖電壓測(cè)量裝置，用來測(cè)試半導(dǎo)體器件的動(dòng)態(tài)參數(shù)。本系統(tǒng)采用了LXI總線技術(shù)，因此能夠快速地組建分布式測(cè)試系統(tǒng)。目前，國(guó)際上脈沖電壓測(cè)量單元并不同時(shí)具備高速和高分辨率的功能特征，針對(duì)此現(xiàn)狀，需要研制高速高精度的脈沖電壓測(cè)量單元。本論文根據(jù)系統(tǒng)指標(biāo)要求，討論了脈沖電壓測(cè)量單元的主要組成部分及其實(shí)現(xiàn)方式，通過分析和比較提出了脈沖電壓測(cè)量單元

3、的系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案。本設(shè)計(jì)主要完成了模擬前端電路設(shè)計(jì)、信號(hào)采集存儲(chǔ)與控制電路設(shè)計(jì)、LXI總線接口電路設(shè)計(jì)三大部分的工作。模擬前端電路主要是對(duì)模擬輸入信號(hào)進(jìn)行調(diào)理，使其能夠在模數(shù)轉(zhuǎn)換器輸入信號(hào)的范圍之內(nèi)。該電路主要包括無源衰減網(wǎng)絡(luò)電路、阻抗變換電路、后級(jí)放大電路、ADC驅(qū)動(dòng)電路等。信號(hào)采集存儲(chǔ)與控制電路采用采樣率為160MSas的ADS4126作為模數(shù)轉(zhuǎn)換器，采用FPGA對(duì)采樣數(shù)據(jù)進(jìn)行接收與緩存，設(shè)計(jì)并完成了脈沖電壓信號(hào)的實(shí)時(shí)檢測(cè)電路。LXI